AE-射頻發(fā)生器-PARAMOUNT HP 10013

產(chǎn)品型號(hào)：PARAMOUNT HP 10013

產(chǎn)品介紹：基于 Advanced Energy 標(biāo)志性的 Paramount RF 發(fā)生器平臺(tái)，Paramount HP 10013 為更高功率應(yīng)用提供全數(shù)字控制和動(dòng)態(tài)等離子體響應(yīng)。 具有低平均功率，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確且可重復(fù)的脈沖功率。 隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，高縱橫比器件需要高等離子體密度，同時(shí)保持低平均工藝功率。 派拉蒙 HP 10013 可實(shí)現(xiàn)高瞬時(shí)峰值功率，同時(shí)將平均過程功耗降至低。派拉蒙 HP 10013 使用數(shù)字架構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的過程測(cè)量和控制，并提供與不斷增長(zhǎng)的制造需求保持同步所需的適應(yīng)性。

性能特點(diǎn)：

增強(qiáng)的等離子體穩(wěn)定性和工藝可重復(fù)性

準(zhǔn)確的射頻控制

對(duì)等離子變化的快速響應(yīng)

滿足特定應(yīng)用需求的靈動(dòng)性和適應(yīng)性

全數(shù)字控制

實(shí)時(shí)功率和阻抗測(cè)量

嚴(yán)格調(diào)節(jié)的輸出功率

電弧管理

上海連航機(jī)電科技有限公司專注于為中國(guó)工業(yè)企業(yè)供應(yīng)進(jìn)口備品備件，提供過程控制技術(shù)詢問，工業(yè)自動(dòng)化集成設(shè)計(jì)與改造，成套設(shè)備與技術(shù)引進(jìn)等工業(yè)技術(shù)應(yīng)用及產(chǎn)品供應(yīng)服務(wù)。為緊跟工業(yè)科技發(fā)展步伐，連航分別在德國(guó)和美國(guó)設(shè)立了公司和倉(cāng)儲(chǔ)，一舉鞏固了采購(gòu)能力，擴(kuò)大了由工廠直采加產(chǎn)品集散帶來的二度成本優(yōu)勢(shì)。

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